新品发布丨温控器E5□D-H：精准控温助力半导体高效生产

2025年6月，欧姆龙自动化（中国）有限公司发布新品【温控器E5□D-H】。作为E5□N-H的迭代机型，E5□D-H在保持操作便捷、成本优势的基础上，针对半导体精密加工需求，全面提升温度控制性能与设备开发效率，为行业客户提供高性价比解决方案。

半导体微型化与叠层化工艺要求温控精度提升。复杂工况下的外部干扰易引发温度波动，影响设备稳定性，抗干扰能力需增强。多样化产品需求要求设备快速改造与组装。E5□D-H通过核心技术升级，切实解决上述难题。

产品核心优势

① 提升温控性能，温度分辨率可达0.01℃

E5□D-H搭载0.01℃的高分辨率，有助于在高温条件下实现高精度温控，提升产品良率。

②外部干扰抑制功能，将温度变化控制在最低限度

外部干扰抑制功能是一项控制功能，能够针对可预测的外部干扰预先抑制温度变化。通过外部干扰自动调谐功能，自动调整FF（前馈）操作量、FF动作时间和FF等待时间。

③ 易操作的设计，简化安装与维护

使用Push-In端子台轻松接线，无需工具，插入即可，不易脱落。

Push-In Plus端子台可大幅削减配线工时，有效减少配线作业的负担。

④ 减少通信设置工时和通信时间

E5□D-H利用设备预置的通信协议库，无需PLC通讯程序开发，实现“零编程”通信集成，减少通讯设定工时。通过集中管理，实现多台温控设备的批量配置，减少通信时间。

欧姆龙温控器E5□D-H，以技术创新与用户需求为导向，重新定义高精度温控标准。通过高分辨率控制、干扰抑制功能、省人化设计，助力半导体企业实现高效生产与可持续发展，开启精准温控新时代！