MEMS流量传感器

温度、压力影响小，能够高精度地测量流量范围宽的气体流量的流量传感器和风量传感器

MEMS流量传感器产品一览

MEMS流量传感器有以下的12个产品

空气用、流量范围 70L/min。利用数字校正，实现高精度

空气用、流量范围 1L/min,2L/min 小型·高性能的微流量计测

城市燃气、液化气用、流量范围 5L/min 小型、高性能的微流量计测

空气用、流量范围 3L/min 可实现高精度传感性能的薄型、小型流量传感器

空气用、流量范围 50L/min 实现高精度传感性能

城市燃气、空气用、流量范围 50L/min 可实现高精度传感性能的小型流量传感器

城市燃气、液化气、空气用、流量范围 30L/min 配管部使用快速紧固件，大大节省了配管工时。

空气用、流量范围 30L/min, 70L/min 配管部使用快速紧固件，大大节省了配管工时。

空气用、通过旁路设置，支持广泛的流量范围

空气用、流速范围 ±50Pa/±500Pa/250Pa 小型、高精度、耐环境性能较好的差压传感器

空气用、可实现小型、高性能的流速＊计测性能。稳定的温度特性＊流速是根据本公司规定风洞内的质量流量换算的值，不表示计量法规定的流速。

空气用、可实现小型、高性能的流速＊计测性能。＊流速是根据本公司规定风洞内的质量流量换算的值，不表示计量法规定的流速。