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工业自动化

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超高性能传感器支持大范围准确测量的核心质量

测量中心距离为20 ~ 1,500 mm的各种型号。
最大分辨率达0.25 μm。
最大响应速度达110 μs。
支持并行输出。

ZS-HL 特点 3 ZS-HL_Features1
ZS-HL 特点 4 ZS-HL_Features2
ZS-HL 特点 5 ZS-HL_Features3

超稳定性

最佳尺寸/稳定性
传感器尺寸

重视性能的理想传感器头尺寸和3点式固定构造确保出众的传感稳定性。(参见注释)

ZS-HL 特点 9 ZS-HL_Features4

注:ZS-HLDS2T 不可用。

卓越的移动分辨率
透视分辨率提升

通过提高受光透镜的灵敏度和分辨率,使光学系统较优化,从而大幅度降低移动分辨率误差(因工件表面位置引起的误差)。

ZS-HL 特点 13 ZS-HL_Features5

材质间误差降低
2维CMOS

CCD在受光量过多时电荷会溢出至相邻的像素。CMOS避免了这种现象,不会受不同材质或受光过多导致的光量变动影响。

ZS-HL 特点 16 ZS-HL_Features6
ZS-HL 特点 17

降低决定测量精度的不同物体之间的差异。
因此,可以更方便地应用于检测对象物。

ZS-HL 特点 19 ZS-HL_Features7
ZS-HL 特点 21 ZS-HL_Features8
ZS-HL 特点 22 ZS-HL_Features9
ZS-HL 特点 23

1,500mm长距离检测,可以测量以往无法测量的点。

ZS-HL 特点 25 ZS-HL_Features10
ZS-HL 特点 27 ZS-HL_Features11

注:此功能可能在明亮环境中无效。

ZS-HL 特点 29

可稳定测量倾斜工件和移动工件。

ZS-HL 特点 31 ZS-HL_Features12
ZS-HL 特点 32 ZS-HL_Features13

专门为ZS-HLDS2VT开发的非球面透镜,采用的光学结构设计适用于正反射工件。显著扩大了允许倾斜的角度,并提高了测量透明工件和正反射工件的稳定性。

ZS-HL 特点 34 ZS-HL_Features14
ZS-HL 特点 35

在半导体晶圆片、玻璃等要求精度高的测量上具有压倒性的优势。

ZS-HL 特点 37 ZS-HL_Features15
ZS-HL 特点 38 ZS-HL_Features16

令人难以置信的测量精度0.25μm,同级产品的较高水平。

ZS-HL 特点 40 ZS-HL_Features17

密封调和器的高度控制

ZS-HL 特点 42 ZS-HL_Features18

HDD用电机旋转座的光盘播放检查

ZS-HL 特点 44 ZS-HL_Features19

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