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传感器探头

项目 ZG2-WDS8T型 ZG2-WDS22型 ZG2-WDS70型 ZG2-WDS3VT型
光学方式 漫反射 正反射 漫反射 正反射 漫反射 正反射 漫反射
测量范围 高度方向 50±3mm 44±2mm 100±12mm 94±10mm 210±48mm
(高精度模式中)
22.3±0.5mm 10.6±0.4mm
宽度方向 8mmTYP 22mmTYP 70mmTYP 0.25μm
分辨率 高度方向(*1) 1μm 2.5μm 6μm 3mmTYP
宽度方向 13μm
(8mm/631pix)
35μm
(22mm/631pix)
111μm111μm
(70mm/631pix)
5μm
(3mm/631pix)
线性(高度方向)(*2) ±0.1%F.S.
温度特性(*3) 0.03%F.S./℃ 0.02%F.S./℃ 0.08%F.S./℃
光源 种类 可视半导体激光
波长 658nm 650nm
输出 最大输出5mW 最大曝光(未使用光学仪器时)1mW 1mW max
激光等级 EN60825-1/IEC60825-1的2M级、FDA的ⅢB级(21CFR1040.10与1040.11) EN60825-1/IEC60825-1的2级、FDA的Ⅱ级(21CFR1040.10与1040.11)
光束形状(根据测量中心距离)(*4) 30μm×24mmTYP 60μm×45mmTYP 120μm×75mmTYP 120μm×75mmTYP
LED显示灯 STAND BY:激光发光准备就绪时亮起(显示颜色:绿)
LD_ON:激光发光时亮起(显示颜色:绿)
测量对象 不透明物体/透明物体表面 不透明物体表面 不透明物体/透明物体表面
耐环境性 使用环境照明 受光表面照明7000lx以下:白炽灯
环境温度范围 操作时:0~ +50℃ 保存时:-15~+60℃(无结冰、结霜)
环境湿度范围 操作、保存时均:35~85%RH(无结霜)
保护结构 IP66(IEC60529) IP67(IEC60529)
振动(耐久) 10 ~ 150Hz(单振幅 0.35mm) X、Y、Z 方向80min
冲击性(耐久) 150m/s26个方向(上下、左右、前后)各3次
材质 外壳:铸铝,前盖:玻璃,电缆绝缘层:耐热氯乙烯,插座:锌合金及黄铜
电缆长度 0.5m、2m(耐弯曲电缆)
重量 约500g 约500g 约650g 约650g
附件 激光警告标签(英文)、铁氧体磁芯(1个)、使用说明书

*将本司标准的被测物体安装于测量中心距离上,进行全线平均高度测量。

型号 CCD模式 平均次数 测量对象
正反射 漫反射
ZG2-WDS8T/ZG2-WDS22/ZG2-WDS70型 高精度模式 64次 本公司标准白色氧化铝陶瓷
ZG2-WDS3VT型 本公司标准镜面体 本公司标准漫反射物体

*对于ZG2-WDS8T/WDS3VT型的最小分辨率,即使增加平均次数仍为0.25μm。而不会变得更小。

*2:采用本公司标准的测量对象对整条生产线平均高度进行测量时,相对于理想化直线的误差CCD模式为高精度模式。线性可能会根据测量对象不同而发生变化。

型号 测量对象
正反射 漫反射
ZG2-WDS8T/ZG2-WDS22/ZG2-WDS70型 本公司标准白色氧化铝陶瓷
ZG2-WDS3VT型 本公司标准镜面体 本公司标准漫反射物体

*3铝管固定探头与测量物体时所获取的数值。CCD模式为标准模式。
*4定义为中心光学强度的1/e2(13.5%)。定义范围外也可能产生泄露光:或在测量对象周围的光反射率高于测量对象的状态下,都会产生影响。

关于出口贸易管理条令

根据日本外汇及国外贸易法的规定,ZG2-WDS3V/WDS8型传感器属于必须取得出口许可的产品(或技术)。
携带至日本以外的国家时,请申办日本政府的出口许可申请等必要手续。
*另外亦备有非出口贸易管理条令限制的ZG2-WDS3V/WDS8T型系列产品。(分辨率不同)
根据日本外汇及国家贸易法的ZG2-WDC11/WDC41型控制器的内置程序,属于必须取得出口许可的技术。
但根据日本贸易外省令第9条第1项第10款的规定,本产品不需经过商业劳务交易许可。

传感器控制器

项目 ZG2-WDC11/WDC11A型 ZG2-WDC41/WDC41A型
输入输出类型 NPN型 PNP型
连接传感器探头数量 1台/控制器
连接控制器数量 2台
测量周期(﹡1) 16ms(高精度模式)、8ms(标准模式)、5ms(高速模式)
最小显示单位 10nm
显示范围 -999.99999~999.99999
显示 液晶显示器 1.8英寸TFT彩色LCD(557×234pix)
LED 各任务判断显示灯(显示颜色:橙):T1、T2、T3、T4
激光显示灯(显示颜色:绿):LD ON
归零显示灯(显示颜色:绿):ZERO
触发显示灯(显示颜色:绿):TRIG
外部
I/F
输入输出信号线 模拟输出 从电压、电流2种方式中选择(通过下方滑动开关切换)
电压输出时:-10~+10V输出电阻:40Ω
电流输出时:4~20mA最大负载电阻:300Ω
判断输出
(ALL-PASS/NG/ERROR)
NPN开路集电极DC30V、
50mA max.
残余电压1.2V以下
PNP开路集电极
50mA max.
残余电压1.2V以下
触发辅助输出
(ENABLE/GATE)
激光停止输入(LD-OFF) ON时:用0V予以短路或1.5V以下
OFF时:开路
(漏电流:0.1A以下)
ON时:电源电压短路或处于电源电压-1.5V以下
OFF时:开路
(漏电流0.1A以下)
归零输入(ZERO)
测量触发输入(TRIG)
数据库切换输入(BANK~D)
串行I/O USB2.0 1个端口、FULL SPEED[12Mbps]、MINI-B
RS-232C 1个端口、最大115200bps
并行输出
(安装ZG-RPD型时)
输出 18个端子
主要功能 设定登录数 16个数据库
灵敏感应调整功能 多种/高速多种/自动/固定
测量项目(项目) 高度/2 点高低差/3 点高低差/边缘位置/边缘宽度/倾斜度/交点角度/交点位置/截面面积/任务演算(可同时测量最多8个项目)
辅助功能 滤镜/激光光量调整/位置补偿功能(高度、位置、倾斜)/联动运算/弯曲点测量
保存轮廓 16个轮廓图形(每1个数据库对应1个轮廓)
触发模式 外部触发/连续
额定 电源电压 DC21.6~26.4V(包括波动)
消耗电量 0.8A以下(每个传感器探头)
绝缘电阻 所有导线与控制器外壳均为:20MΩ(250V电压)
耐电压 所有导线与控制器外壳均为:AC1000V 50/60Hz 1min
耐环境性 环境温度范围 操作时:0~+50℃保存时:-15~+60℃(无结冰、结霜)
环境湿度范围 操作时、保存时均:35~85%RH(无结霜)
保护结构 IP20(IEC60529)
振动(耐久) 振动频率:10~150Hz 单振幅:0.35mm 加速度:50m/s2
冲击性(耐久) 150m/s2 6个方向(上下、左右、前后)各3次
材质 机框:聚碳纤维(PC)、电缆绝缘层:耐热氯乙烯
电缆长度 2m
重量 约300g(包括电缆)(包装状态下:约450g)
附件 ZG2-WDC□1型:鉄氯体磁芯 大(1个)、使用说明书
ZG2-WDC□1A型:铁氯体磁芯 大(1个)、铁氯体磁芯小(2个)、使用说明书、安装软件(CD-ROM)、USB 电缆(1m)

*这里记载的测量周期,为固定、自动感度时的测量周期。设定成多感度时,或存在其他设定内容时,测量周期将会延长。高能量模式为ON时,无论CCD模式设定与否,最短测量周期均为95ms。请通过RUN模式的节能显示器确认实际的测量周期。

数据储存单元

项目 ZG2-DSU11型 ZG2-DSU41型
输入输出类型 NPN PNP
控制器连接台数 2台(*1)
可连接的控制器 ZG2-WDC11/WDC41型
外部I/F 输入输出信号线 记录开始/结束输入 ON时:用OV予以短路,或1.5V以下
OFF时:开路
(漏电流0.1mA以下)
ON时:电源电压短路或处于电源电压-1.5V以下
OFF时:开路(漏电流0.1mA以下)
判断输出
(HIGH/PASS/LOW/ERROR)
NPN开路集电极
DC30V、50mA max.
残余电压1.2V以下
PNP开路集电极
50mA max.
残余电压1.2V以下
串行I/O USE2.0 端口、FULL SPEED[12Mbps]、MINI-B
RS-232C 1个端口、最大115200bps
功能 记录数据数
*2
本机内存 保存轮廓图形:5,120个
保存测量值:最多65,000个(*3)
储存卡
(256MB)*4
保存轮廓图形:最多35,328个(256个×138个文件)
保存测量值:最多715万个(65,000个×110个文件)
记录触发器 外部触发器、数据触发器(安全触发器)、时间触发器
外部数据库功能 4096个数据库
其他功能 报警输出功能
额定 电源电压 DC21.6~26.4V(包括波动)
消耗电量 0.5A以下
耐环境性 环境温度范围 操作时:0~+50℃ 保存时:0~+60℃
(无结露)
环境湿度范围 操作时、保存时均:35~85%RH(无结露)
材质 机框:聚碳纤维(PC)
电缆长度 2m
重量 约280g
附件 铁氯体磁芯(1个)、使用说明书

*1连接时必须配备控制器连接组件。
*2记录期间数据将保存到本机内存中,结束记录时自动写入存储卡中。记录数量视设定条件而异。
*3连接2台传感器控制器并分别测量8项任务时,也可保存65,000次测量值。
*4以下条件记录时的最大保存数。
使用1台传感器控制器测量1项任务
仅限记录轮廓或测量值

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