单晶炉是生长硅单晶的主要设备，是在惰性气体环境中，通过石墨电阻加热器将
多晶硅加热融化，然后用软轴直拉法生长无位错的单晶生长设备。下图是单晶炉
图片及系统构造图：

1. 伺服应用于坩埚升降及籽晶提升系统；

单晶炉控制系统相关功能如下：

4.PLC 承载着整个系统的运算及执行。

3. 视觉实时测量晶棒生长尺寸

2. 触摸屏进行数据输入及状态显示；

OMRON FZ3 产品特点：

使用

FZ3 的“圆弧搜索”功能测量“引晶”“放肩”工艺，用“边缘搜索”功能测

量“转肩”“等径”工艺。 “引晶”阶段采集

10 个数据，“等径”采集 80 个数据，大

大提升了

FZ3 测量精度和数据稳定性。

1. 达到前所未有的高精度测量 --500 万像素

4. 图像失真修正 -- 减少输送过程或照相机位置的影响；

3. 高动态范围的功能 --FZ3 可以获得高达 500 ： 1 的动态范围；

2. 全景图象处理 -- 将 2 台或多台相机图象进行合成

5. 高速防光晕过滤器 -- 通过分析光的波长来消除产生光晕的镜面反射。