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扩散炉设备

扩散炉设备

    扩散炉用途是对半导体进行掺杂,即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。

课  题

    需要对多路温度同时监控,闭环控温,保证实际温度实时与设定温度一致。

解决方案

    使用CJ1P回路控制PLC的方式进行控制有以下优点:

    1.具有PID自整定功能,可显示当前工艺参数和设备的工作状态,能对炉温、阀门进行自动控制,并管理全部 工艺时序;

    2.具有可编程的升、降温功能,可以很方便地设置和修改工艺曲线和控制参数;

    3.具有超温报警、极限超温报警、报警安全保护功能;

 

具体咨询方案

随着产品流程的自动化和全球化,半导体和FPD生产商对于生产安全、质量和环境的要求也越来越高。通过长期与拥有SEMI等影响力的机器制造商合作,我们已积累足够知识和经验来提供您所需的解决方案。

电话咨询:86-21-60230333

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技术支持:针对客户的需求为其提供整体解决方案为客户提供安装指导,解答客户来电咨询的产品技术问题。

售后服务:回访客户产品使用情况,听取客户意见或建议,提高业务人员综合服务水平。

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