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Solution

解决方案

OHT天车中的foup门状态检查应用

利用光纤单元,检测foup门
的开启状态,避免脱落风险

  • 半导体
  • 搬送/上下料
  • 传感器

应用介绍

【行业】半导体

【设备】OHT天车

应用场景

检测foup门的开启掉落。

解决课题

1、天车内部的空间极为紧凑,常规型号的传感器在此环境中普遍存在安装兼容性困难。

2、FOUP本身存在材质多样性,且其舱门常采用高透明度设计,这种材质与光学特性的显著差异对传统检测方法构成挑战。

3、FOUP门体的型设计各不相同,特别是部分型号采用的透明注塑横栏结构,对传感器信号识别造成严重干扰,大幅提升了误判风险。

价值提案

核心产品:光纤单元 E32-LR11NP智能光纤放大器 E3NX-FA

价值点1.

E32-LR11NP配有φ1×10mm 的超小型传感头,可插入狭小的空间内进行安装,为精密检测场景提供理想的解决方案。

价值点2.

针对透明材料的检测需求,E32-LR11NP凭借其回归反射式工作原理展现出色性能。该设计使其能够精准捕捉透明介质引起的光学特性变化,实现稳定可靠的检测效果。

价值点3.

E32-LR11NP内置MSR偏极滤光镜,结合专用反光板协同工作,有效抑制由双折射材料产生的偏振干扰,从而稳定识别此类特殊材料,防止透明注塑横栏造成的误检测现象。

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