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欧姆龙全球

Solution

解决方案

半导体Foup的自动搬运案例

灵活的车队调度管理系统,
提高搬运效率,减少人工成本

  • 解决劳动力短缺
  • 汽车
  • 搬送
  • 机器人
  • 人机协作

设备概况

该设备主要实现半导体工厂中用于装硅片的Foup的运输工作,将前道工艺设备完成的部件至于LoadPort,再将LoadPort上的部件运输至对应的Foup货架。

课题

目前装硅片的Foup运输环节是由人工完成的,不仅效率低下,而且常与人接触,容易产生灰尘。

解决方案

通过导入欧姆龙自主移动机器人LD系列,配合协作机器人TM系列,实现了全自主的物料运输。

1、TM与LD之间的应用配合

在协作机器人TM系列和自主移动机器人LD系列的通讯配合中,采用网络通讯并不灵活且不能保证通讯的稳定性,因此最终选择了IO接线的方式来通讯,使得TM和LD的每一次交互都稳定可靠。

2、TM Landmark功能应用

协作机器人TM系列可以通过Landmark功能定位工件坐标,可是在与自主移动机器人LD系列搭配应用时,由于LD的定位精度只有±100mm,如果TM相机视野较小,拍照位离Landmark较近的话,±100mm的位置误差会导致拍照时Landmark不在视野范围内;

而如果TM相机视野增大,拍照距离变远的话,虽然可以保证拍到Landmark,但精度会很差,因此我们采用嵌套视觉的方式来拍Landmark。

3、嵌套视觉识别Landmark

通过VISION0709任务,对Landmark进行远距离、大范围的第一次拍照;识别到Landmark之后,机器人会向下移动到离Landmark更近一些的第二个拍照点再次拍照;识别之后,再次向下移动到最终的Landmark拍照位置,这样就保证拍照位置距离Landmark 10cm之内,保证识别精度和坐标精度。

系统配置

协作机器人TM系列搭配自主移动机器人LD系列的应用解决方案,称作Mobile Manipulator(MOMA),通过TM强大的视觉功能,可以挑选和放置各类物品,并搬运至工厂的任何地方,使制造和材料处理变得更加灵活,整体效率大幅提升!

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