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Solution
等离子刻蚀机上的温度控制方案
■ 采用前馈控制算法,有效抑制温度干扰,降低温度波动,实现多分区热盘的同步升温控制。
■ 通过精确调控温度参数影响刻蚀速率,提升加工精度,同时优化能源利用效率。
■ 依托精密工艺创新与流程优化,赋能客户价值提升,服务产业高质量发展需求。
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