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Solution
干法刻蚀机上的温度控制案例
■ 升温时间由90秒缩短到65秒,同步性偏差由6℃提升至1.8℃,提升热盘升温过程中的同步效果。
■ 通过温度控制技术关联蚀刻速率调控,支持加工精度与能效的协同优化,探索资源效率提升路径。
■ 通过持续的技术创新与应用,优化产品性能与生产流程,助力客户构建市场差异化优势,服务产业高质量发展。
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