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涂胶显影机上的温度控制案例
■ 温度控制技术深度赋能半导体制造全流程,其创新应用已达到行业先进水平,有效协同提升产业链自主化能力。
■ 通过设备性能优化与自动化能力升级,实现特定工序从人工调整向全自动化的转型,优化人力资源配置,支持品质精益化管理目标的实现。
■ 欧姆龙提供的技术支持和调试服务,使各分区控温精度达到±0.05℃,温度均一性指标R=0.28,显著提升了设备整体效率和工艺品质。
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