1. 升温速度达2℃/s，超调小于1℃，稳态精度小于±0.15℃；启辉后温度波动小于±1.5℃。刻蚀效率提升15%以上。
2. 自适应性强：一套PID参数实现多种升温，比如小温差间隔0→20℃，大温差间隔0→100℃的控温曲线，在保证控温效果的同时，便于客现场工程师的调试维护。
3. 抗干扰能力强：动态前馈补偿算法实现高功率RF射频能量开启/关闭后，温度波动小于±2℃，稳态温度小于±0.15℃。
【经营层】
■ 协同客户推进设备开发与技术攻关，支持本土供应链能力建设需求。
【业务层】
■ 优化温控精度与效率关键指标，支持客户制程能力进阶行业基准水平。
【现场层】
■ 多路温控方案，提升温度同步性，控制效果满足技术要求。
工业自动化
