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Solution

解决方案

单片清洗机中晶圆的平整检测方案

利用光纤传感器,检测单片清
洗机中晶圆的平整情况

  • 电子
  • 检查
  • 传感器

应用介绍

【行业】半导体

【设备】清洗机/湿法蚀刻

应用场景

单片清洗机中晶圆的平整检测。

解决课题

1、清洗液具有腐蚀性,传感器需要具备耐腐蚀和防水的功能。

2、在部分易燃易爆气体等环境中,传感器需要适应防爆需求。

3、在特定清洗工艺中,因清洗剂成分具有光敏感性,无法直接使用光电传感器。

价值提案

核心产品:光纤传感器 E3NX-FA光纤单元 E32-T12F

价值点1.

光纤头E32-T12F配有氟树脂全涂层,实现耐腐蚀、防水的双重工业级防护。

价值点2.

光纤头只是传导光的介质,不含电气回路,可以安全地应用于防爆环境要求。

价值点3.

E3NX-FA可以在特定时间段内将LED光关闭,避免对清洗工艺产生影响。

价值点4.

备有S-TUNE智能调谐设定,两键自动设定光量和阈值,减小对射光纤安装的同心度误差。

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