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Solution
单片清洗机中晶圆的平整检测方案
光纤头E32-T12F配有氟树脂全涂层,实现耐腐蚀、防水的双重工业级防护。
光纤头只是传导光的介质,不含电气回路,可以安全地应用于防爆环境要求。
E3NX-FA可以在特定时间段内将LED光关闭,避免对清洗工艺产生影响。
备有S-TUNE智能调谐设定,两键自动设定光量和阈值,减小对射光纤安装的同心度误差。
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