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Solution
EFEM设备中的上料判断方案
E32采用耐折弯结构制造,至少100W次的弯曲寿命,非常适合mapping往复运动的检测方式,防止长时间运行时的机械寿命发生断线。
E32备有3mm和4mm厚等各种安装方式,易于设置在loadport开盒机构或者晶圆机械手臂上的薄型形状,光轴的调整也非常简单(光纤头光轴与定位基准面的偏差仅为±0.1°Typ)。
使用放大器S-TUNE智能调谐,快速设定光量和阈值,尽量减小对射光纤安装时的对齐误差,并且在具有透明度上的wafer也可以做到快速设定。
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