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Solution

解决方案

EFEM设备中的上料判断方案

利用光纤单元,判断上料时wafer的有无

  • 电子
  • 加工
  • 传感器

应用介绍

【行业】半导体

【设备】EFEM

应用场景

上料时的wafer有无判断,映射出wafer位置后方便后续机械手的抓取。

解决课题

1、由于设备内部安装空间紧凑且机械手的承载能力有限,检测模块需要直接内嵌安装于Loadport的开门执行机构或晶圆搬运机械手的本体结构中。

2、需要平等检测不同材质的晶圆,避免因材料特性差异导致的误检或漏检。

价值提案

核心产品:光纤单元 E32光纤放大器 E3NX-FA

价值点1.

E32采用耐折弯结构制造,至少100W次的弯曲寿命,非常适合mapping往复运动的检测方式,防止长时间运行时的机械寿命发生断线。

价值点2.

E32备有3mm和4mm厚等各种安装方式,易于设置在loadport开盒机构或者晶圆机械手臂上的薄型形状,光轴的调整也非常简单(光纤头光轴与定位基准面的偏差仅为±0.1°Typ)。

价值点3.

使用放大器S-TUNE智能调谐,快速设定光量和阈值,尽量减小对射光纤安装时的对齐误差,并且在具有透明度上的wafer也可以做到快速设定。

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