工业自动化
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半导体生产中的晶圆定位检查应用
a) E32系列备有直角螺母型光纤，可在狭小设备空间内实现灵活布线，减少安装过程中线缆被周边机械部件钩挂的风险，显著提升布线效率与长期使用可靠性；
b) E3NX-FA凭借高速的响应时间（最快30μs），可实时捕捉晶圆在传输或对位过程中的微小偏移，迅速反馈位置信息并联动设备调整，确保晶圆始终处于中心位置；
c) E3NX-FA备有S-TUNE智能调谐设定，两键自动设定光量和阈值，减小对射光纤安装的同心度误差。
a) 可穿过玻璃对真空内的wafer进行准确测量，在维持真空环境完整性的前提下，对内部晶圆进行高精度位置测量，重复精度高达2μm；
b) E32采用特殊设计的法兰结构，内部嵌有透光玻璃层，只将光从大气侧传输至真空侧，实现真空环境与外部检测系统的安全光路连接；
c) 由于使用密封法兰作为传导光的机构，安装时只需将光纤直接插入法兰接口即可完成光路连接，无需复杂校准或额外密封处理，显著简化设备集成步骤。
