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Solution
半导体生产中的晶圆滑出检测应用
a) E3NC拥有最长1.2m的检测距离,适用于远距离检测,无需顾虑安装结构复杂; b) E3NC配有光束直径调节旋钮,可根据需要调整检测晶圆的区域,以达到稳定的检测效果。
基于晶圆表面高反射特性,E3NC采用CLASS 1级激光光源的传感系统,不受残留研磨液的干扰,实现对晶圆偏移情况的稳定检测。
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