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Solution

解决方案

半导体生产中的foup到位检查应用

利用按钮型光电传感器,检测
FOUP盒的落座情况

  • 电子
  • 检查
  • 传感器

应用介绍

【行业】半导体

【设备】EFEM/OHB/stocker

应用介绍

场景1.EFEM中的cassette落座
场景2.OHB中的cassette落座
场景3.stocker中的foup落座

解决课题

1、不同种类的FOUP盒会因材质、颜色、重复使用导致的老化等各种因素影响检测,难以实现统一的稳定性评估标准。

2、open cassette质量较轻,难以正确下压驱动销,导致漏检的情况产生。

3、因生产要求,需要在机械手上直接安装传感器。但机械手上的空间有限,传感器难以安装。

价值提案

核心产品:按钮型光电传感器 EE-SA701/801

价值点1.

与半导体FOUP盒规格相契合,不受材质、颜色、反射率、重量等各种影响,准确检测FOUP盒的落座情况。

价值点2.

以光学方式检测驱动器的动作,对下压力的要求较低,即使是质量较轻的open cassette也可以进行稳定检测。同时, EE-SA701/801的机械寿命达500万次以上,实现超长使用。

价值点3.

EE-SA701/801采用薄型设计,备有柔韧性佳的耐曲折导线型,可实现搬运臂上的嵌入式安装搭载。

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