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Solution
探针台设备上的温度控制应用
利用外部干扰抑制功能,将温度波动控制在较小限度,缩短温度变稳定所需的时间,避免影响检测节拍。
采用ECT主站+NX-TC3408模块替代温控表控制热盘温度,主站ECT进行PIDAT控温,缩短节拍及抑制超调。(稳态控温精度+0.1℃,超调小于0.5℃)
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