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Solution
研磨机wafer预载位的高精度检测方案
透镜自动校准配备高精度CMOS,稳定检测各种材质wafer。
拥有优异的角度特性,在远距离检测时能针对线切割后的wafer的粗糙面进行稳定检测。
需要检测透明wafer时,可通过示教轻松设定高灵敏度背景。
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