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欧姆龙全球

Solution

解决方案

半导体炉管wafer凸出的远距离稳定检测方案

利用光电开关,进行wafer凸出检
测,轻松实现远距离的稳定检测

  • 品质提升
  • 电子
  • 检查

应用介绍

【行业】SEMI

【设备】炉管

【用途】用于晶圆的批量热处理

使用场景

检测石英晶圆舟晶圆是否有突出,防止自动取片时发生异常。

场景:晶舟上wafer的突出检测

解决课题

1、多达150片wafer时的高度检测,容易发生wafer的横向移动,需要稳定检测。

2、因检测距离远,调试时光轴对准难度大。

价值提案

核心产品:距离设定型光电开关 E3Z-LR

价值点1.

1级激光光源,保证远距离的检测下可检测1mm的位置变化。

价值点2.

激光束方向的变化可被抑制并且光点直径可自由更改,方便远距离时光轴的调整。

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