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欧姆龙全球

Solution

解决方案

对强腐蚀性有机溶剂进行液位检测的方案

利用具有耐腐蚀性的光纤传感
器,实现有机溶液的液位检测

  • 提升设备性能
  • 电子
  • 检查

应用介绍

【行业】SEMI

【设备】清洗机/CDS/SDS

【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等

应用场景

对储液罐(tank)的液位进行检查。

解决课题

部分有机溶液(氢氟酸)具有腐蚀性,无法使用透明玻璃管显示液位。

价值提案

核心产品:光纤传感器E32-D82F1(接液型) 光纤放大器E3NX-FA

价值点1.

接液型光纤传感器可部署于储液罐(tank)内直接接触液体测量。

价值点2.

200℃的耐热性并有氟树脂涂层,耐化学性强,满足清洗槽温度和腐蚀要求,实现对有机溶液的液位检测。

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