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欧姆龙全球

Solution

解决方案

多干扰场景下的液位检测优化方案

利用光纤传感器,排除气泡、水滴等干
扰因素进行液位检测,防止误判产生

  • 生产性提高
  • 电子
  • 检查

应用介绍

【行业】SEMI

【设备】清洗机/CDS/SDS

【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等

应用场景

通过侧窗导管显示液位的情况,并对液位进行限制。

场景1.清洗机
场景2.CDS供液

解决课题

1、气泡、水滴等干扰因素会影响液位检测。

2、有机溶液的结晶化会影响检测。

价值提案

核心产品:光纤传感器E32-D36T(卡管型) 光纤放大器E3NX-FA

价值点1.

备有矩阵型检测光纤,不易受气泡、水滴等干扰因素的影响,实现稳定检测。

价值点2.

配合E3NX-FA系列放大器的使用:
a) 配备DPC功能,快速消除短时间内溶液结晶化的检测干扰;
b) 配备外部触发或重新示教功能,消除长时间溶液结晶化的干扰。

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