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欧姆龙全球

Solution

解决方案

基于光纤传感的液体有无状态平等检测方案

利用光纤传感器,实现有无液体
状态下的平等检测

  • 提升设备性能
  • 电子
  • 检查

应用介绍

【行业】SEMI

【设备】清洗机/CDS/SDS

【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等

应用场景

通过侧窗导管显示液位的情况,并对液位进行限制。

场景1.清洗机
场景2.CDS供液

解决课题

1、按照生产要求,需要至少对四个液位位置(上限位置、供给停止位置、供给开始位置、下限位置)进行判定。

2、检测液位上下限的要求不同。

价值提案

核心产品:光纤传感器E32-A01/A02 (卡管型) 光纤放大器E3NX-FA

价值点1.

小型卡管式安装,快速部署四个液位位置的检测。

价值点2.

考虑到断线时的安全,备有有液体状态(A01)和无液体状态(A02)下的入光两种类型。

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