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欧姆龙全球

Solution

解决方案

非透明管液位检测的传感器抗干扰优化方案

使用液位传感器,排除非透明材
质的液位管的影响进行液位检测

  • 生产性提高
  • 电子
  • 检查

应用介绍

【行业】SEMI

【设备】清洗机/CDS/SDS

【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等

应用场景

通过侧窗导管显示液位的情况,并对液位进行限制。

场景1.清洗机
场景2.CDS供液

解决课题

1、按照生产要求,需要对至少四个液位位置的判定,传感器安装空间紧张。

2、部分有机溶液(氢氟酸)无法使用透明玻璃管显示液位。

价值提案

核心产品:液位传感器 E2K-L

价值点1.

放大器内置型,节省空间安装。

价值点2.

采用静电容量式测量的方式,可穿过非透明材质检测液位,不受管道材质、液体颜色的影响。

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