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Solution
晶圆清洗机管接头的渗漏监测方案
漏液检测带有高度的抗化学品腐蚀能力。电极采用SUS316,绝缘薄层采用聚乙烯,提高了耐酸碱性。
采用交流方式向检测带供给信号,安全不触电。
将检测带缠绕在管接头处等有可能漏液的部位上检测漏液,无需通过人工巡检。
从50MΩ电阻液体到普通水都能稳定检测。可设定4级检测范围,能够根据液体特性检测。
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