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ECVD设备腔体的温度均衡控制方案
自带外部干扰抑制功能,能够针对可预测的外部干扰预先抑制温度变化。实现升温时间(40min→35min)与回温时间(15min→13min)的缩短。
启动时自动调整PID,有效削减繁琐调整的工时。温控稳定( ±5℃ → ±3℃)
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