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欧姆龙全球

Solution

解决方案

EFEM晶圆凸出检测的高性价比方案

利用内置型光电传感器,快速部署
wafer微小凸出检测,实现高性价比

  • 品质提升
  • 降低生产成本
  • 电子
  • 检查

应用介绍

【行业】SEMI

【设备】EFEM

【用途】用于半导体前道各种工艺机台的晶圆传输

应用场景

检测cassette内wafer是否有凸出,防止自动取片时发生异常。

场景:cassette内wafer的凸出检查

客户课题

1、Open cassette搬运过程中容易发生wafer的横向移动,要求对wafer微小凸出时的稳定检测(1mm)。

2、满足半导体设备的小型化设计,方便安装。

价值提案

核心产品:内置型光电传感器 E3T-ST

价值点1.

作为性价比高的对应方案,能稳定检测wafer的微小凸出。

价值点2.

小型化方便安装,配有M2/M3安装型定位孔,快速部署。

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