Solution

解决方案

成功事例

晶圆RTP设备上的温度控制方案

利用温度控制技术，实现不同测温点上的同步升温

• 半导体
• 加工
• FA自动化设备

成功事例

原子层沉积设备上的系统控制方案

利用控制技术，提升原子层沉积设备的性能

• 半导体
• 加工
• FA自动化设备

成功事例

等离子刻蚀机上的温度控制方案

利用PID温控技术，抑制不同刻蚀功率下的温度干扰

• 半导体
• 加工
• FA自动化设备

成功事例

干法刻蚀机上的温度控制案例

利用PID温控技术，缩短升温时间，提升同步升温效果

• 半导体
• 加工
• FA自动化设备

成功事例

涂胶显影机上的温度控制案例

利用温度均一技术，减少调温时的人工依赖

• 半导体
• 加工
• FA自动化设备

成功事例

WEE边缘曝光设备的应用案例

通过轨迹控制技术，实现晶圆的高精度去边

• 半导体
• 加工
• 传感器
• FA自动化设备
• 运动/驱动

成功事例

刻蚀机温度控制升级方案

利用温度控制技术，实现多分区同步升温，优化刻蚀精度

• 半导体
• 加工
• FA自动化设备

成功事例

温控技术在RTP快速退火炉上的应用

利用温度控制技术，实现快速退火炉上的多路高速同步升温

• 半导体
• 加工
• FA自动化设备

成功事例

异型插件机上电容电阻的通过检测方案

利用光电传感器，检测电容电阻等元件的通过情况

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

单片清洗机中晶圆的平整检测方案

利用光纤传感器，检测单片清洗机中晶圆的平整情况

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

天车控制柜的预测性维护方案

利用温度状态监视设备，实时监测天车控制柜内的温度趋势

• 半导体
• 维保/厂务
• 电源/其他外围设备

成功事例

划片机的NCS非接触测高检测方案

利用智能光纤放大器，稳定检测刀片的磨损量

• 半导体
• 加工
• 传感器

成功事例

半导体生产中的wafer mapping检测方案

利用智能激光传感器，判断wafer mapping的异常情况

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

EFEM设备中的上料判断方案

利用光纤单元，判断上料时wafer的有无

• 半导体
• 加工
• 传感器

成功事例

塑封机设备中的余料检测方案

利用智能激光传感器，检测塑封机内残余物料的有无

• 半导体
• 加工
• 传感器

成功事例

OHT天车的放卷对中检查应用

利用智能激光传感器，稳定监测天车放卷升降时的摆动情况

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

半导体生产中的晶圆定位检查应用

利用智能激光传感器，对送入工艺腔室前的晶圆进行定位检查

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

半导体生产中的晶圆定位检查应用

利用光纤单元，对送入工艺腔室前的晶圆进行定位检查

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

半导体等离子清洗机的引线框架突出检测应用

利用智能激光传感器，实现引线框架突出的稳定检测

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

半导体生产中的晶圆滑出检测应用

利用智能激光传感器，稳定判断晶圆在研磨垫上的滑出情况

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

半导体生产中的foup到位检查应用

利用按钮型光电传感器，检测FOUP盒的落座情况

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

半导体行业盘柜内的温度状态监视应用

利用温度状态监视设备，预知设备的异常发热，避免事故发生

• 半导体
• 维保/厂务
• 电源/其他外围设备

成功事例

探针台设备上的温度控制应用

利用温度控制单元，控制探针台的温度波动，缩短检测节拍

• 半导体
• 检查
• FA自动化设备

成功事例

Frame Cassette到位的稳定检测方案

利用扁平型接近传感器，小尺寸嵌入设计避免多种检测干扰因素，稳定检测各种金属材质的到位

• 半导体
• 加工
• 传感器

成功事例

IC芯片浮起的稳定检测方案

利用智能激光传感器，满足设备的小型化设计，实现微小芯片浮起的稳定检测

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

涂胶显影热盘多区高速同步均温控制方案

利用温度均一技术，整体高速同步升温，各个区域温度保持一致

• 半导体
• 维保/厂务
• FA自动化设备

成功事例

研磨机wafer预载位的高精度检测方案

利用光电传感器，实现各种材质wafer预载位有无的高精度稳定检测

• 半导体
• 加工
• 传感器

成功事例

半导体炉管wafer凸出的远距离稳定检测方案

利用光电开关，进行wafer凸出检测，轻松实现远距离的稳定检测

• 半导体
• 加工
• 传感器

成功事例

EFEM多材质晶圆的凸出检测方案

利用光纤传感器，满足不同材质下wafer凸出检测时的快速部署和调整

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

对强腐蚀性有机溶剂进行液位检测的方案

利用具有耐腐蚀性的光纤传感器，实现有机溶液的液位检测

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

多干扰场景下的液位检测优化方案

利用光纤传感器，排除气泡、水滴等干扰因素进行液位检测，防止误判产生

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

基于光纤传感的液体有无状态平等检测方案

利用光纤传感器，实现有无液体状态下的平等检测

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

非透明管液位检测的传感器抗干扰优化方案

使用液位传感器，排除非透明材质的液位管的影响进行液位检测

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

晶圆清洗机管接头的渗漏监测方案

利用抗化学品腐蚀的漏液检测器，快速检测管接头处漏液并报警，减少人工巡检

• 半导体
• 检查
• FA自动化设备

成功事例

EFEM晶圆凸出检测的高性价比方案

利用内置型光电传感器，快速部署wafer微小凸出检测，实现高性价比

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

清洗机液位智能监测的低成本快速部署方案

利用液位传感器进行检测的快速部署方案，同时控制成本

• 半导体
• 检查
• 传感器

成功事例

晶体定向仪高精度测量解决方案

符合SECS/GEM通讯，实现“零”误差的精准切割

• 半导体
• 加工
• FA自动化设备
• 运动/驱动

成功事例

晶圆槽式清洗机高速高精度应用

符合SECS/GEM通讯，高速生产节拍x超低碎片率

• 半导体
• 检查
• FA自动化设备

成功事例

晶焊片粘装机高速高精度解决方案

创新性双工位搬运，推动晶圆产能核增

• 半导体
• 加工
• FA自动化设备

成功事例

半导体引线键合设备的应用

高端运动控制技术引入，实现设备速度与精度的几何级提升

• 半导体
• 加工
• FA自动化设备

成功事例

温度均一技术在SEMI匀胶显影机上的应用

打破技术垄断，助力SEMI行业设备国产化进程

• 半导体
• 加工
• FA自动化设备

成功事例

半导体（SEMI）附膜晶圆应力检测的应用

控制算法的优化，实现温度的实时监控，提升良品率

• 半导体
• 加工
• FA自动化设备

成功事例

半导体Foup的自动搬运案例

灵活的车队调度管理系统，提高搬运效率，减少人工成本

• 半导体
• 搬送/上下料
• 机器人